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島田研究室    
―メゾスコピック系物性研究室―
Experimental Mesoscopic Physics Group, Department of Engineering Science, UEC Tokyo
 
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COUNTER390514

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実験室ツアー: 研究室の実験設備

106号室(測定室)
大型希釈冷凍機(Oxford Instruments)
 循環ポンプ:ULVAC PBL-06、Leybold D40B
中型希釈冷凍機(自作未完成)、ガスシステム(北野精機)
 循環ポンプ:大阪真空
ヘリウムリークディテクタ(Anelva HELEN M-212LD-D)
測定器
 ベクトルネットワークアナライザ(Agilent )
 スペクトラムアナライザ(Advantest )

107号室

自作成膜装置
 電子ビーム蒸着(Anelva )
ヘリコン・スパッタ装置(ULVAC)

417号室(プロセス・測定)
クリーンブース(日本エアーテック、2m×2m×2m)
ワイヤボンダ(Westbond)
微分干渉顕微鏡(Nikon)
金属顕微鏡(Olympus)
超純水装置(ミリポア)
スピナー(ミカサ)
成膜装置(ケイサイエンス・改造)
 電子ビーム蒸着(Anelva)
プラズマ処理装置
プラズマ処理機構付き成膜装置
電磁シールドルーム(2m×2m×2m)
真空蒸着装置
簡易型希釈冷凍機
測定器

関連施設(研究設備センター)
先端研究設備部門
 電子線露光装置(EBL、JEOL東京テクノロジー)
 マスクアライナー
低温部門
 ヘリウム液化機