日本語 | English
島田研究室    
―メゾスコピック系物性研究室―
Experimental Mesoscopic Physics Group, Department of Engineering Science, UEC Tokyo
 
     大学院生募集中!
 
COUNTER437753

What's New

 
表示すべき新着情報はありません。

IMAGINE

実験室ツアー: 研究室の実験設備

106号室(低温測定室)
大型希釈冷凍機(Oxford Instruments)(最低温40 mK) 
 循環ポンプ:ULVAC PBL-06、Leybold D40B
 超伝導磁石 8T
中型希釈冷凍機(自作未完成)、ガスシステム(北野精機)
 循環ポンプ:大阪真空
 超伝導磁石 8T
ヘリウムリークディテクタ(Anelva HELEN M-212LD-D)
測定器
 ベクトルネットワークアナライザ(Agilent )
 スペクトラムアナライザ(Advantest )

107号室(特殊成膜・低温測定)

自作成膜装置
 電子ビーム蒸着(Anelva )+室温ALD
ヘリコン・スパッタ装置(ULVAC)
電磁シールドルーム(2m×2m×1m)
簡易型希釈冷凍機 #2
 超伝導磁石 4T
測定器

417号室(プロセス・低温測定)
クリーンブース(日本エアーテック、2m×2m×2m)
ワイヤボンダ(Westbond)
微分干渉顕微鏡(Nikon)
金属顕微鏡(Olympus)
超純水装置(ミリポア)
スピナー(ミカサ)
成膜装置(ケイサイエンス・改造)
 電子ビーム蒸着(Anelva)
プラズマ処理装置
プラズマ処理機構付き成膜装置
真空蒸着装置
電磁シールドルーム(2m×2m×2m)
簡易型希釈冷凍機 #1 (最低温70 mK)
 超伝導磁石 4T
測定器

関連施設(研究設備センター)
先端研究設備部門
 電子線露光装置(EBL、JEOL東京テクノロジー)
 マスクアライナー
低温部門
 ヘリウム液化機