106号室（低温測定室）
大型希釈冷凍機（Oxford Instruments）(最低温40 mK)　
　循環ポンプ：ULVAC PBL-06、Leybold D40B
　超伝導磁石 8T
中型希釈冷凍機（大塚洋一先生作製）、ガスシステム（北野精機）
　循環ポンプ：大阪真空
　超伝導磁石 8T（Desert Cryogenics）
ヘリウムリークディテクタ（Anelva HELEN M-212LD-D）
測定器
　ベクトルネットワークアナライザ（Agilent ）
　スペクトラムアナライザ（Advantest ）

107号室（特殊成膜・低温測定）
自作成膜装置
　電子ビーム蒸着（Anelva）＋室温ALD
ヘリコン・スパッタ装置（ULVAC）
電磁シールドルーム（2m×2m×1m）
簡易型希釈冷凍機 #2
　超伝導磁石 4T（Desert Cryogenics）
測定器

417号室（プロセス・低温測定）
クリーンブース（日本エアーテック、2m×2m×2m）
スクライバー（共和理研）
ワイヤボンダ（Westbond）
微分干渉顕微鏡（Nikon）
金属顕微鏡（Olympus）
超純水装置（ミリポア）
スピナー（ミカサ）
成膜装置（ケイサイエンス・改造）
　電子ビーム蒸着（Anelva）
プラズマ処理装置（自作）
プラズマ処理機構付き成膜装置（自作）
真空蒸着装置（油拡散ポンプ仕様）
電磁シールドルーム（2m×2m×2m）
簡易型希釈冷凍機 #1 (最低温70 mK)
　超伝導磁石 4T（自作）
測定器

関連施設（研究設備センター）
先端研究設備部門
　電子線露光装置（EBL、JEOL東京テクノロジー）
　マスクアライナー
低温部門
　ヘリウム液化機